Háhita tómarúmshlutir
Hitameðferð felur aðallega í sér oxun, dreifingu og glæðingarferli.Oxun er aukefnaferli þar sem kísilskífur eru settar í háhita ofn og súrefni er bætt við til að hvarfast við þær og mynda kísil á yfirborði skífunnar.Dreifing er að flytja efni frá hástyrkssvæðinu til lágstyrkssvæðisins með sameindahitahreyfingu og hægt er að nota dreifingarferlið til að dópa tiltekin lyfjaefni í sílikon hvarfefninu og breyta þannig leiðni hálfleiðara.
